管狀pecvd在過程中蝶閥開度不穩定的原因是什麼

這應該是這個閥門的控制系統有問題。 應檢查本過程蝶閥的檢測訊號和反饋訊號是否正常。 由於你沒有說它是如何控制的，我不能告訴你確切地如何檢查它。

估計是天氣太熱的原因。

從外觀上看，歐標型材更加美觀大方。 型材角的倒角不同，國標型材四角的倒角很小，基本上是直角。 歐標型材的四角有大弧形倒角，不易擦傷。

3.不同的凹槽型別，使用不同的聯結器 當型材固定時（直角 90 度，直線連線 180 度），放置不同的凹槽。

有些人一生只做兩件事，不服從和爭鬥，所以越成功。 也有人一輩子只做兩件事，等待，後悔，所以越混越糟。人不禁沉思自己，看看自己是什麼樣的人，如果做得不理想，當你下定決心改變自己，未來就會改變。

人生中，總有一頁是捨不得放棄的，那麼深沉，那麼溫暖。 我把過去的陰霾煙中冷光，把親人給予的溫暖放在我溫暖的掌心，哪怕是隔天大地，依然清晰可見。 讓溫暖掩蓋冬天的寒冷和壓抑; 讓思緒，沉香歲月的蒼老苦澀。

說到這裡，我繼續回答這個問題

哦，是的，哦

可能是片子的位置不是很正確，另乙個是由於石墨舟使用時間長，溫度不是很均勻，導致片子燒焦！

前者是在管子裡，**在石墨舟中作為電極塗層，可以稱為直接型，後者是在石墨框架上，不作為電極，可以稱為間接型。 前者使用射頻電源，而後者使用微波輝光。 也有很多不同之處。

矽烷與氨反應形成SIN沉積物，在矽片表面形成抗反射塗層。 一種利用高頻電源輝光放電產生等離子體對化學氣相沉積過程產生影響的技術。 由於等離子體的存在，促進了氣體分子的分解、復合、激發和電離，促進了反應基團的形成，從而降低了沉積溫度。

PECVD在200 500範圍內成膜，比700 950範圍內的其他CVD小得多。 反應過程中，將大量氫離子注入矽片中，使懸鍵飽和，使矽片中的缺陷失活，從而達到表面鈍化和體化的目的。

你問的是什麼樣的塗裝工藝？ 不同的塗層需要不同的氣體和工藝差異。

做乙個實驗，確定乙個準確的時間，當你上石墨船時檢查它**。

工藝主要集中在兩者的容量和塗佈均勻性上，管P稍好，但板型更便宜。